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Beschreibung
Vereinfachen Sie die Vorbereitung von Kalibrierungswafern mit Thermo Scientific™ SURF-CAL™ Partikelgrößenstandards zur Kalibrierung und Wartung von Oberflächeninspektionssystemen (Scanning Surface Inspection Systems, SSIS). Erhältliche Partikelgrößen entsprechen den von den Instrumentenherstellern geforderten Kalibrierpunktgrößen.
- Die verfügbaren Größen werden gemäß Definition in der „International Technology Roadmap for Semiconductors“ (ITRS) als wesentliche Kalibrierungsknoten betrachtet.
- Durch das Auftragen von SURF-CAL™ NIST™-nachweisbaren Polystyrollatexsphären (PSL) auf speziell ausgewählte Wafer können regelmäßige Kalibrierungsprüfungen durchgeführt und Scanner vor Ort mit Scannern an anderen Standorten verglichen werden
- Des Weiteren kann die Leistung der SSIS in kritischen Phasen des Herstellungsverfahrens eingeschätzt werden.
- Alle Produkte sind in deionisiertem gefiltertem Wasser in 50 ml-Flaschen bei einer Konzentration von 3 × 108 Partikeln pro Milliliter suspendiert.
Hinweis:
Die Produkte PD1100 und kleiner sind auch mit 1010 Partikeln pro ml für Anwendungen erhältlich, bei denen ein Differenzial-Mobilitätsanalysator (DMA) oder weitere Größenausschlusstechnologien eingesetzt werden.
Spezifikation
Spezifikation
| Zusatzstoff | Ohne |
| Konzentration | 3 x 108 Partikel / ml |
| Inhalt und Lagerung | Sofern nicht anders angegeben, bei Nichtverwendung kühl lagern (bei 2 bis 8 °C), jedoch nicht einfrieren. Aufrecht lagern und Flasche dicht verschlossen halten Produkt entweder manuell durch vorsichtiges Überkopfdrehen oder mittels Vortexmixer mischen. |
| Inhalt | Polystyrol-Mikrosphären in deionisiertem, gefiltertem Wasser |
| Beschreibung | Partikel für die Kalibrierung und Wartung von Scanoberflächen-Inspektionssystemen (SSIS) |
| Farbe | Weiß oder farblos |
| Zur Verwendung mit (Anwendung) | SSIS-Kalibrierung und Wartung |
| Material | Polystyrol |
| Produkttyp | Partikel in Standardgrößen |
| Enthält | Zertifikat der Kalibrierung und Rückverfolgbarkeit gemäß NIST |
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